[实用新型]一种扩散炉的保温结构有效
| 申请号： | 202022315018.4 | 申请日： | 2020-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN214244672U | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 刘群;庞爱锁;林佳继;郭永胜;林依婷 | 申请（专利权）人： | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10;C30B31/12;C30B31/18 |
| 代理公司： | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人： | 董世博 |
| 地址： | 518118 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种扩散炉的保温结构，包括设置在扩散炉内部的内管以及设置在内管外侧的保温层和隔离层，所述保温层设置为内管外侧的第一层，隔离层设置于保温层的外侧；本实用新型中扩散炉的整个内壁设置环绕式分布的炉丝，并且炉丝之间保持设定距离，保证了扩散炉内部的温度分布均匀，炉丝全埋或半埋于保温层，有效保护了炉丝结构的稳定性，不会因为长时间的加热使用而产生脱落的现象，同时设置气流控制装置，有效控制气流输入的快慢，适应不同加工环节的加工需求，保证硅片加热的顺利进行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 保温 结构 | ||
【主权项】：
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