[实用新型]一种用于角抛光硅片样品的设备有效
| 申请号： | 202022321034.4 | 申请日： | 2020-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN213258836U | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 吴永林;金铉洙 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/06;B24B47/12;G01N1/32 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 李斌栋;姚勇政 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种用于角抛光硅片样品的设备，所述设备包括：具有用于抛光所述硅片样品的抛光面的抛光板；设置在所述抛光板的抛光面上的用于夹持所述硅片样品的夹具；相对于所述抛光板固定地设置的马达；连接所述马达的输出轴与所述夹具的连接机构，所述连接机构构造成使得所述夹具能够由所述马达驱动进行旋转的同时能够远离所述马达朝向所述抛光板的抛光面移动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 抛光 硅片 样品 设备 | ||
【主权项】：
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