[实用新型]一种光谱共焦传感器线性度标定装置有效
| 申请号： | 202022343530.X | 申请日： | 2020-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN212963947U | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 沈玙 | 申请（专利权）人： | 沈玙 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01B11/02 |
| 代理公司： | 江苏坤象律师事务所 32393 | 代理人： | 赵新民 |
| 地址： | 215128 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种光谱共焦传感器线性度标定装置，包括圆形平晶及其位移夹持装置、光谱共焦传感器探头及其调整装置、激光干涉仪和隔震台。所述圆形平晶两侧镀有反射镀层，在两侧镀层非圆心的一对应位置处酸洗刻蚀出一微小孔；所述圆形平晶位移夹持装置包括V型槽、导轨和曲柄滑块运动机构；V型槽对圆形平晶进行定位，曲柄滑块运动机构可将电机输出的转动转化为滑块在导轨上的往复平动；滑块具有定位夹持机构，夹持圆形平晶。光谱共焦传感器探头安装在位姿调整装置上，其调整装置和激光干涉仪、V型槽均通过磁性吸附结构安装在隔震台上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光谱 传感器 线性 标定 装置 | ||
【主权项】：
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