[实用新型]一种磁钢调节装置有效
| 申请号： | 202022345064.9 | 申请日： | 2020-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN213447283U | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 梁瑞记;黄颖;焦春雷;范存贵;崔平生;艾发智 | 申请（专利权）人： | 东莞南玻工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54;G01R33/02 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 李莹 |
| 地址： | 523000*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁钢调节装置，涉及磁控溅射靶材技术领域。磁钢调节装置包括支架、驱动端、水电端、靶材模具、磁钢、第一驱动装置、第二驱动装置以及测量模组，测量模组包括两标尺、高斯计以及滑块；磁钢设置在靶材模具内，靶材模具上开设有多个调节孔；驱动端以及水电端均设置在支架上，靶材模具的两端分别设置在驱动端以及水电端上；两标尺间隔设置在支架上，两标尺均平行设置在靶材模具的下方；滑块横跨在两标尺上，且可在两标尺上滑动，高斯计设置在滑块上；第一驱动装置与靶材模具连接，用于驱动靶材模具旋转；第二驱动装置与滑块连接，用于驱动滑块移动。磁钢调节装置能够模拟磁钢正常工作下的工况，从而提高了磁钢调节的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁钢 调节 装置 | ||
【主权项】：
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