[实用新型]一种防飞晶反弹的划刀片防护机构有效
申请号: | 202022354219.5 | 申请日: | 2020-10-21 |
公开(公告)号: | CN213829779U | 公开(公告)日: | 2021-07-30 |
发明(设计)人: | 丁红 | 申请(专利权)人: | 苏州工业园区代思科电子科技有限公司 |
主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00;B28D7/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种防飞晶反弹的划刀片防护机构,包括工作台,所述工作台右侧顶面固接固定架,所述工作台顶面固接晶圆夹持组件。本实用新型实现了晶圆的悬空固定,在切割时,产生较多的晶体碎屑会出现在晶圆下方,由晶圆下方的第一气头进行处理吸取,晶体表面较少的碎屑则会由侧面的第二气头处理吸取,部分晶体飞弹的碎屑由于速率较快,无法及时被第二气头吸取,则会被挡板阻挡,在下落过程中由于速率降低,则会被第二气头吸取处理,避免了晶体飞弹至操作者处被操作者吸取的情况,还避免了晶体碎屑停留在晶圆表面,避免了由于碎屑导致划片刀切割使产生裂纹的情况,降低了切割过程中造成晶圆损坏的情况,减少经济损失。 | ||
搜索关键词: | 一种 防飞晶 反弹 刀片 防护 机构 | ||
【主权项】:
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