[实用新型]一种物理气相沉积中的锁紧圈有效
| 申请号： | 202022356758.2 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN214361656U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;杨其垚 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种物理气相沉积中的锁紧圈，所述物理气相沉积中的锁紧圈包括空心底座和设置于所述空心底座上的圆环；所述圆环包括依次设置的第一圆环、第二圆环、第三圆环和第四圆环；所述第四圆环设置于所述空心底座的空心处；所述第四圆环的内侧壁上设置有凸起；所述第一圆环、第二圆环、第三圆环和第四圆环的中心线和所述空心底座的中心线相重合。通过对锁紧圈结构的改进由之前的平面改为在局部增加凸起，使得锁紧圈在机台上的使用周期延长，增加锁紧圈的使用寿命，避免了溅射粒子的堆积降低晶圆的使用性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物理 沉积 中的 锁紧圈 | ||
【主权项】：
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