[实用新型]一种方硅芯铸锭炉热场结构有效
| 申请号： | 202022358099.6 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN213113600U | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 徐永亮;李振;徐养毅;张国华 | 申请（专利权）人： | 苏州昀丰半导体装备有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 32261 | 代理人： | 徐鸣 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种方硅芯铸锭炉热场结构，主要以解决热场温度分布不均匀，生长出的晶体易开裂的问题。包括：炉体，所述炉体分为上炉体与下炉体；隔热层，所述隔热层设置在所述炉体中；立柱，所述立柱固定在所述下炉体上；热交换台，所述热交换台固定在所述立柱上；隔热板，所述隔热板设置在所述隔热层的底部，所述立柱穿过所述隔热板，所述隔热板能够在所述立柱上升降。本实用新型获得了热场稳定、利于晶体生长、能耗降低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 方硅芯 铸锭 炉热场 结构 | ||
【主权项】：
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