[实用新型]一种光源组件的校准装置有效
| 申请号： | 202022360250.X | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN213580025U | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 张磊;史赛 | 申请（专利权）人： | 苏州华兴源创科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 王喆 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光源组件的校准装置，包括：内部中空的壳体，固定于壳体底部面板上的支撑件，所述支撑件与所述底部面板形成容腔；位于所述支撑件上的光源组件，所述光源组件包括若干阵列排布的子光源；位于所述容腔内的调节组件，配置为在所述底部面板所在平面上沿第一方向和垂直于第一方向的第二方向移动；以及连接固定于所述调节组件的校准件，配置为在所述调节组件的带动下，对每一子光源进行校准。本实用新型可实现不同区域的光源组件的精度检测和调节，可提高光源组件的精度标准，从而提高应用于该校准后的光源组件的半导体检测机的测试精度，进一步提高待测芯片的检测良率，具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光源 组件 校准 装置 | ||
【主权项】：
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