[实用新型]一种抛光液下液装置及扫光装置有效
| 申请号： | 202022360633.7 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN213616108U | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 高令;谭志强;李叶明;张红超 | 申请（专利权）人： | 深圳西可实业有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 深圳信科专利代理事务所(普通合伙) 44500 | 代理人： | 吴军 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道浪*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种抛光液下液装置及扫光装置，包括：连接管、下液口、防护罩和下液槽，所述连接管用于与循环泵连接，所述下液口固定在所述防护罩上，所述下液槽套设在所述防护罩上，所述下液口一端与所述连接管连接，另一端设置在所述下液槽上方或下液槽中。本实用新型提供的抛光液下液装置及扫光装置，采用固定下液口的方式进行抛光液的循环，实现了扫光轴高速旋转状态下抛光液在静态与动态下循环，提高了扫光轴与扫光盘电机的使用寿命，降低了维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 液下液 装置 | ||
【主权项】：
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