[实用新型]光栅尺有效
| 申请号： | 202022373300.8 | 申请日： | 2020-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN213842044U | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 赖林松;周志伟;尹建刚;何建涛;卢彧文;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;B08B1/00;B08B5/04 |
| 代理公司： | 深圳中细软知识产权代理有限公司 44528 | 代理人： | 阎昱辰 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种光栅尺，包括标尺光栅、光栅读头以及清洁组件：光栅读头与标尺光栅相对活动设置，并能够沿标尺光栅的延伸方向进行往复运动；清洁组件沿光栅读头的移动路径，清洁组件设于光栅读头的前侧；清洁组件连接于外部气源，并用于清洁标尺光栅。使用本实施例的光栅尺时，首先将清洁组件与外部气源连通，清洁组件随光栅读头相对于标尺光栅移动，在移动过程中，设于光栅读头前侧的清洁组件能够在光栅读头与标尺光栅相配合前对标尺光栅进行清洁，以标尺光栅上的粉尘或微小残片与标尺光栅分离，从而避免标尺光栅上的粉尘或微小残片对光栅读头的检测精度造成影响，进而保证光栅尺的检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅尺 | ||
【主权项】：
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