[实用新型]一种无尘室微粒子监控装置

摘要

本申请公开了一种无尘室微粒子监控装置，包括行走组件以及设置在行走组件底端的监控组件，所述行走组件包括行走壳、行走电机、驱动齿轮、连接板、滑块、齿条和导轨，所述行走内腔中设置有行走电机，所述行走电机通过底端的连接板固定在滑块上，所述滑块与行走壳内壁固接，所述滑块滑动连接在导轨表面，所述导轨的两端贯穿行走壳侧壁且固接在无尘室的墙壁顶部，所述行走电机的输出端上固接有驱动齿轮。本申请结构设计合理，驱动电机带动驱动齿轮转动，驱动齿轮与齿条的啮合，使滑块在导轨上滑动，从而带动整个行走壳沿导轨移动，从而带动监控组件在无尘室内部移动，提高监控范围。