[实用新型]一种单晶炉热屏导流筒有效

专利信息
申请号: 202022421729.X 申请日: 2020-10-27
公开(公告)号: CN213652720U 公开(公告)日: 2021-07-09
发明(设计)人: 高德东;王珊;张西亚;高俊伟;宋生宏 申请(专利权)人: 青海大学;阳光能源(青海)有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 代理人: 李树志;李雪慧
地址: 810000 *** 国省代码: 青海;63
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摘要: 实用新型涉及机械设备技术领域,具体涉及一种单晶炉热屏导流筒,包括导流筒本体,导流筒本体包括外热屏和内热屏,外热屏和内热屏之间设有保温层结构,在内热屏空腔体内设置有冷却装置,该冷却装置的侧壁由钼制成形成隔热屏,隔热屏内侧沿壁体设置有螺旋冷却管,冷却管内设置有铜制的筒体;该导流筒用冷却装置增大纵向温度分布并把冷却装置与保温热屏分开,增强保温性能的同时形成保护气通道,使生产单晶更加稳定,降低了加热器消耗,增加了晶体的生长速度、节约了生产成本。
搜索关键词: 一种 单晶炉热屏 导流
【主权项】:
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