[实用新型]一种显影液喷涂装置和显影设备有效

专利信息
申请号: 202022435291.0 申请日: 2020-10-28
公开(公告)号: CN214160198U 公开(公告)日: 2021-09-10
发明(设计)人: 南宫旭 申请(专利权)人: 乐金显示光电科技(中国)有限公司
主分类号: B05B15/40 分类号: B05B15/40;B05B15/50;G03F7/30
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 孟金喆
地址: 510530 广东省广州市广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型实施例公开一种显影液喷涂装置和显影设备,显影液喷涂装置包括储液容器、泵体、换向阀、第一过滤器、第二过滤器、喷头以及流量计,泵体的输入端与储液容器的出液端连接,泵体的输出端与换向阀的输入端连接;第一过滤器的输入端与换向阀的第一输出端连接,第二过滤器的输入端与换向阀的第二输出端连接,第一过滤器的输出端和第二过滤器的输出端均通过流量计与喷头的输入端连接;在流量计统计的流量小于预设的第一阈值时,换向阀的输入端切换为连接换向阀的第一输出端或第二输出端,实现了过滤器堵塞不可用导致流量下降时切换过滤器,显影设备无需停机来更换过滤器,保证了显影设备的作业时间。
搜索关键词: 一种 显影液 喷涂 装置 显影 设备
【主权项】:
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