[实用新型]一种具有聚焦特性平板型高场非对称波形离子迁移谱仪有效
申请号: | 202022435573.0 | 申请日: | 2020-10-28 |
公开(公告)号: | CN213459635U | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
发明(设计)人: | 邢志刚;袁仲云;贺晶晶 | 申请(专利权)人: | 深圳市斯贝达电子有限公司 |
主分类号: | H01J49/02 | 分类号: | H01J49/02;H01J49/06;H01J49/26;G01N27/622 |
代理公司: | 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 | 代理人: | 赵红霞 |
地址: | 518020 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供一种具有聚焦特性平板型高场非对称波形离子迁移谱仪,依次包括:离子源;迁移区,包括上下间隔设置的下极板和上极板,以及与下极板相连的地电极和与上极板相连的射频电源;检测区,包括法拉第筒,和与法拉第筒连接的偏转电压源和微弱电流检测电路;上极板和下极板之间的间隔缝隙形状为半圆形状和水平通道形状交替地间隔设置,且半圆形状统一位于下极板上。本实用新型改进了高场非对称波形离子迁移谱仪中迁移区的结构,将圆筒型迁移区与平板型迁移区相结合,使离子迁移区在具备小气体流道间隙的同时,具有离子聚焦的功能,可提高高场非对称波形离子迁移谱仪的分辨力和灵敏度。同时解决了小气体流道间隙圆筒型迁移区加工困难的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 聚焦 特性 平板 型高场非 对称 波形 离子 迁移 | ||
【主权项】:
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