[实用新型]一种检测碳化硅晶体微管密度的装置有效
| 申请号： | 202022443879.0 | 申请日： | 2020-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN213875336U | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 李帅;秦莉;冯琳琳;刘耀华 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N9/00 | 分类号： | G01N9/00 |
| 代理公司： | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 刘德顺 |
| 地址： | 250118 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种检测碳化硅晶体微管密度的装置，包括：检测腔体、紫外发射元件和紫外光敏元件，检测腔体内设置有定位组件，定位组件用于放置待测碳化硅晶体；紫外发射元件设置在检测腔体内，且位于定位组件的一侧；紫外光敏元件设置在检测腔体内，且位于定位组件的另一侧；紫外光敏元件能够响应所述紫外发射元件发射的穿过待测碳化硅晶体后的光源。通过在定位组件两侧设置设置紫外发射元件和紫外光敏元件，紫外发射元件发射的光源通过待测碳化硅吸收后照射到紫外光敏元件，利用紫外光敏元件数值的变化检测穿过待测碳化硅晶体光源发生变化，从而检测出碳化硅晶体上是否有微管；且可以根据紫外光敏元件数值变化的大小确定碳化硅晶体微管密度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 碳化硅 晶体 微管 密度 装置 | ||
【主权项】：
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