[实用新型]一种用于磁控溅射设备回流传输的调整装置有效
| 申请号： | 202022444856.1 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN213570712U | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 于春锋;李方军;张谦 | 申请（专利权）人： | 山东三齐能源有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 | 代理人： | 马祥明 |
| 地址： | 250220 山东省济南*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，包括传输装置、传输装置支撑架、载盘导轨和传输固定座，其中传输固定座包括传输固定块、传输调整块、螺杆和传输脚座，所述传输固定块固定在传输装置支撑架的四个角上，传输调整块安装在传输固定块上，传输脚座固定在传输调整块上面通过螺丝锁紧，螺杆垂直固定在传输调整块上；传输装置通过传输固定座安装在传输装置支撑架上；所述载盘导轨按照载盘在传输装置上所处的位置，对称固定在传输装置支撑架上。本实用新型可解决载盘在传输过程中脱轨问题，解决了因脱轨问题导致的对产能的影响，便于维修，大大降低维修成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 磁控溅射 设备 回流 传输 调整 装置 | ||
【主权项】：
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