[实用新型]一种高纯气路系统的气体切换装置有效
| 申请号： | 202022446188.6 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN213656319U | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 昱辰实验室系统科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/04 | 分类号： | F17D1/04;F17D3/01 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及气体切换装置技术领域，且公开了一种高纯气路系统的气体切换装置，包括外壳，所述外壳底部固定安装有分流总管，所述分流总管顶端左右两侧均固定安装有减压器，所述分流总管顶端固定安装有第一压力表，所述减压器顶端固定安装有电磁阀，所述电磁阀顶端固定安装有单向阀，所述单向阀顶端固定安装有汇流总管，两个汇流总管的相对一侧均固定安装有球阀，该高纯气路系统的气体切换装置，通过控制箱的控制作用，两侧的电磁阀会进行开启和关闭，首先由一侧供气,这时该侧供气指示灯亮,待气压降到设定的切换压力时,该侧低压报警灯亮并立即换到另一侧供气,如此循环往复，进而达到了气体切换效率高的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 系统 气体 切换 装置 | ||
【主权项】：
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