[实用新型]一种硅片清洗装置有效
| 申请号： | 202022450591.6 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN213613041U | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 陈涛;岳维维;孟祥熙;赵艳 | 申请（专利权）人： | 常州时创能源股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片清洗装置，包括预清洗槽、第一药洗槽、第一漂洗槽、第二药洗槽和第二溢流漂洗槽，所述第二溢流漂洗槽的溢流水箱连接有泵体，所述泵体出水端连接有热交换器；所述热交换器的一端连接预清洗槽的进水管，另一端连接第二溢流漂洗槽的纯水进水管。本实用新型的硅片清洗装置大大降低了电耗，节约了用电量；现有的单台清洗机每天按照48吨水耗量计算，每天耗电量约275kWH，而本实用新型单台装置每天耗电量约200kWH，每天节约了电耗75kWH，每年可节约电费约27%；本装置容易改造实现，具有很高的实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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