[实用新型]气相沉积平台有效
| 申请号： | 202022455240.4 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN213570822U | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 孙飞 | 申请（专利权）人： | 苏州尚勤光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C30B25/18 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 王春丽 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种气相沉积平台，包括不锈钢平台，所述不锈钢平台上设置有安装柱，所述安装柱上设有石英天花板，所述安装柱的端部设有将石英天花板卡固的卡环；所述石英天花板上设有晶相沉积的、增加表面粗糙度的喷砂层。通过喷砂层的设计来增强晶相沉积时的粗糙度，延长石英天花板的更换周期时间，喷砂层上沉积的化合物更加牢固，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 平台 | ||
【主权项】：
暂无信息
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