[实用新型]一种晶圆贴片加工夹具

摘要

本实用新型提供了一种晶圆贴片加工夹具，属于晶圆贴片加工技术领域。该晶圆贴片加工夹具包括架体组件、夹持机构和取料机构。所述架体组件包括底座和支架，所述支架固定在所述底座表面，所述夹持机构包括卡盘和压板，所述卡盘安装在所述底座表面，所述压板位于所述卡盘上方，所述压板表面安装有螺杆，且所述螺杆与所述支架螺纹连接。本实用新型通过卡盘、螺杆和压板对晶圆进行固定，而在对晶圆在进行下料时，使卡盘的卡爪与晶圆分离，利用第一真空吸盘吸取晶圆，通过转动螺杆，带动压板、第一真空吸盘和晶圆进行移动，利于将晶圆从卡盘表面取下，利于对晶圆进行拿取，提高晶圆下料的效率。