[实用新型]一种用于MPCVD设备的真空检测装置有效
| 申请号： | 202022457368.4 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN213336613U | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 王凯;秦静 | 申请（专利权）人： | 美若科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00;B08B1/00 |
| 代理公司： | 济南文衡创服知识产权代理事务所(普通合伙) 37323 | 代理人： | 刘真 |
| 地址： | 276800 山东省日*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于MPCVD设备的真空检测装置，属于MPCVD设备真空检测技术领域，包括MPCVD设备本体和真空检测仪，通过在检测喷头的一侧设有安装板，且在安装板的一侧设有密封板，提高MPCVD设备本体与真空检测仪之间的密封性，方便使用，便于检测探头对MPCVD设备本体内部进行真空检测，且在检测探头上套接有轴承，当长时间使用时，驱动电机带动齿轮转动，使得齿轮带动齿轮环转动，进而使得转动环在轴承上进行转动，使得转动环带动固定杆转动，进而使得毛刷对检测探头进行清扫，避免长时间使用时杂物附着在检测探头上，提高检测时的准确性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 mpcvd 设备 真空 检测 装置 | ||
【主权项】：
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