[实用新型]一种拍舟机构有效
申请号: | 202022458192.4 | 申请日: | 2020-10-29 |
公开(公告)号: | CN214088663U | 公开(公告)日: | 2021-08-31 |
发明(设计)人: | 吴廷斌;张学强;张建伟;罗银兵;王涛 | 申请(专利权)人: | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/50 | 分类号: | C23C16/50;C23C16/458;H01L21/67 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 刘相宇 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及光伏设备技术领域,涉及一种拍舟机构。本实用新型通过将支撑组件设置在拍舟组件下方,这样拍舟组件既能起到拍打石墨舟内的硅片又能避免拍舟组件将石墨舟卡在舟片传输机构的现象发生,实现了拍舟件的在线拍打石墨舟内的硅片,支撑组件还可对石墨舟起到支撑定位的作用,使得拍舟组件可有效轻拍,多拍,有效降低了抓取过程中的碎片率,增加了石墨舟载具的使用寿命,大大提高了硅片的合格率。 | ||
搜索关键词: | 一种 机构 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的