[实用新型]一种半导体级单晶生长设备的可分离式热屏提升机构有效
| 申请号： | 202022467092.8 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN213804062U | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 刘丁;弋英民;张晶;张新雨;黄伟超 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 韩玙 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体级单晶生长设备的可分离式热屏提升机构，包括热屏，热屏上活动设置有炉盖，热屏与炉盖之间设置有热屏提升机构，热屏提升机构具体结构为：包括一对平行竖直设置的提升杆，提升杆的下端安装有扇形的旋片挂钩，热屏杆的上端连接有旋转拧手，提升杆的上下运动是通过提升电机带动丝杠的旋转，从而驱动与提升杆上部连接的热屏运动支座实现提升和下降的动作，热屏运动支座通过下方安装的波纹管与热屏连接底座法兰连接为一个整体，整个热屏提升机构就是通过热屏连接底座法兰安装固定在炉盖的对应窗口位置。本实用新型解决了现有技术中存在的高温对热屏提升杆的影响以及热屏提升杆对温度梯度影响的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 级单晶 生长 设备 可分离 式热屏 提升 机构 | ||
【主权项】：
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