[实用新型]一种CMP设备用压力传感器的防护结构有效
| 申请号： | 202022472489.6 | 申请日： | 2020-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN212931742U | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 刘欢 | 申请（专利权）人： | 天津昂嘉科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/26 | 分类号： | G01L1/26;G01L19/00;G01L19/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300000 天津市武清区京*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种CMP设备用压力传感器的防护结构，涉及压力传感器技术领域，包括传送器和防护装置，所述传送器的表面固定连接有皮线，所述传送器的表面设有防护装置，所述防护装置包括有固定板，所述固定板与传送器滑动连接，所述固定板的表面滑动连接有滑块，所述滑块呈“L”形结构，所述滑块靠近传送器的一侧固定连接有凹槽板，所述固定板的表面固定连接有固定块，所述固定块的表面螺纹连接有螺杆，所述凹槽板借助螺杆与固定板滑动连接。本实用新型，解决了由于传送器为杆状结构，导致传送器受到外力撞击传感器时，会导致传感器与设备的连接处容易发生弯折，从而引起压力传感器与设备连接处的损坏，进而影响传感器的正常使用的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cmp 备用 压力传感器 防护 结构 | ||
【主权项】：
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