[实用新型]一种新型掩膜版尺寸测量装置有效
申请号: | 202022482453.6 | 申请日: | 2020-11-02 |
公开(公告)号: | CN213090630U | 公开(公告)日: | 2021-04-30 |
发明(设计)人: | 校微娜 | 申请(专利权)人: | 上海禾本电子科技有限公司 |
主分类号: | G01B5/00 | 分类号: | G01B5/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 200030 上海市徐*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种新型掩膜版尺寸测量装置,包括底座,所述底座的上表面固定连接有支撑杆,所述支撑杆的一侧开设有第一滑槽,所述第一滑槽的内表面活动连接有拉杆,所述拉杆的一端固定连接有复位弹簧,所述拉杆的外表面活动连接有第一连接杆,所述第一连接杆的一端固定连接有限位块;通过设计的支撑杆、移动块、第一滑槽、限位块和拉杆,解决了新型掩膜版尺寸测量装置在使用过程中,需要对掩膜版进行固定,然后通过量具对掩膜版进行测量,为了避免量具与固定装置分开使用,使对掩膜版尺寸的测量更加麻烦,降低工作效率的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 掩膜版 尺寸 测量 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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