[实用新型]一种单晶炉用的加料设备有效

专利信息
申请号: 202022492453.4 申请日: 2020-11-02
公开(公告)号: CN213866493U 公开(公告)日: 2021-08-03
发明(设计)人: 李嘉亮 申请(专利权)人: 西安邦泰电子技术有限公司
主分类号: C30B15/02 分类号: C30B15/02;C30B15/20;C30B29/06
代理公司: 西安汇智创想知识产权代理有限公司 61247 代理人: 苏蓓
地址: 710000 陕西省西安市*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 实用新型公开了一种单晶炉用的加料设备,包括加料室、转接机构、升降机构和料斗;加料室为具有向下开口的容器;加料室上开设有进气端和出气端;升降机构包括第一升降单元和第二升降单元;料斗用于与第一升降单元可拆卸转动连接;转接机构包括第二连接臂、第三连接臂和第一输料管;第二连接臂的一端用于与第一升降单元可拆卸转动连接,另一端通过第三连接臂与加料室固连;第一输料管的进料端用于连接料斗的出料口,出料端穿过加料室侧壁固定在加料室内;加料室内还设有第二输料管,第二输料管的进料端位于第一输料管出料端的下方。本实用新型消除了硅料被污染的风险,提高保证了晶体的品质,避免了对单晶炉传动装置等的损坏。
搜索关键词: 一种 单晶炉用 加料 设备
【主权项】:
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