[实用新型]一种压电薄膜驱动的MEMS扫描振镜有效
| 申请号： | 202022506362.1 | 申请日： | 2020-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN213240663U | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 郭俊兴;杜先鹏;金传广 | 申请（专利权）人： | 苏州小优智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 北京金硕果知识产权代理事务所(普通合伙) 11259 | 代理人： | 郝晓霞 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种压电薄膜驱动的MEMS扫描振镜，包括衬底、硅微反射镜、压电薄膜驱动器，硅微反射镜及压电薄膜驱动器位于衬底上，还设有硅折叠弹簧及硅扭转梁，硅折叠弹簧连接压电薄膜驱动器和硅扭转梁，压电薄膜驱动器通过硅折叠弹簧及硅扭转梁驱动硅微反射镜实现角度扭转。本方案实现了单轴扫描和双轴扫描，以及三自由度的扫描运动。相比传统的机械扫描镜，本方案弥补了需要多个单轴扫描镜来合成多轴扫描镜的不足。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 薄膜 驱动 mems 扫描 | ||
【主权项】：
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