[实用新型]长条形多孔显影液喷嘴装置有效
| 申请号： | 202022517444.6 | 申请日： | 2020-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN213457649U | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 陈力钧;吴越豪;顾飞 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种长条形多孔显影液喷嘴装置，包括：第一支架，长条形分配管，多个显影液喷嘴，多个清洗气体喷嘴；长条形分配管设置在第一支架上；显影液喷嘴设置在长条形分配管的底部，显影液从长条形分配管均匀分配到各显影液喷嘴中喷出；各清洗气体喷嘴对准各显影液喷嘴的侧面，清洗气体从清洗气体喷嘴喷出以去除显影液喷嘴的侧面上残留的显影液。本实用新型能防止显影液喷涂后在显影液喷嘴的侧面产生显影液残留并进而防止显影液偷滴到晶圆表面。 | ||
| 搜索关键词： | 条形 多孔 显影液 喷嘴 装置 | ||
【主权项】：
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