[实用新型]一种具有环形水道结构的背板有效
| 申请号： | 202022520377.3 | 申请日： | 2020-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN213652628U | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;冯周瑜 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种具有环形水道结构的背板，所述具有环形水道结构的背板设置有与冷却水接触的区域；所述区域内设置有同心设置的至少2条环形水道；所述区域内设置有至少2条旋臂形水道，所述至少2条旋臂形水道沿所述具有环形水道结构的背板的中心轴等角度分布；所述旋臂形水道与环形水道连通。本实用新型通过旋臂形水道与环形水道的配合，不仅能够实现对靶材的有效冷却，还能够保证背板在真空镀膜过程中无过多形变产生，保证了真空镀膜的顺利进行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 环形 水道 结构 背板 | ||
【主权项】：
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