[实用新型]微型热电器件有效
申请号: | 202022528445.0 | 申请日: | 2020-11-05 |
公开(公告)号: | CN213304164U | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | 邰凯平;赵洋;乔吉祥;孙东明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院金属研究所 |
主分类号: | H01L35/04 | 分类号: | H01L35/04;H01L35/14;H01L35/16;H01L35/18;H01L35/22;H01L35/32;H01L35/34 |
代理公司: | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人: | 张志伟 |
地址: | 110016 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型涉及半导体器件领域,具体为一种微型热电器件。该热电器件包括底部基板、顶部基板和热电单元,底部基板的上方相对设置顶部基板,每个热电单元与底部基板、顶部基板对应的两端分别设置过渡层,底部基板通过其上的功能层与热电单元下端的过渡层连接,顶部基板通过其上的功能层与热电单元上端的过渡层连接。利用掩膜技术在底部基板和顶部基板上制备图案化的功能层,使用真空阵列吸附转移和图像识别技术,依次将N型热电粒子和P型热电粒子按设计好的排布规律转移到底部基板上,与焊接涂层接触;盖上制备有镀层的顶部基板,通过加压、加热的方法实现热电器件的键合和电连接,可以实现高集成密度微型热电器件的高效制作。 | ||
搜索关键词: | 微型 热电器件 | ||
【主权项】:
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