[实用新型]镀膜装置有效
| 申请号： | 202022529671.0 | 申请日： | 2020-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN214830632U | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 宗坚;文毅 | 申请（专利权）人： | 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/50;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型主要提供一种镀膜装置，用于对多个待镀膜产品进行镀膜，所述镀膜装置包括一支撑结构、一多层支撑架以及多个支撑面，其中所述多层支撑架被设置于所述支撑结构，多个所述支撑面分别被设置于所述多层支撑架以用于放置所述待镀膜产品。本实用新型所述的镀膜装置能够改善各层上的所述待镀膜产品的膜厚差异，从而减少位于同一层的所述待镀膜产品的膜厚差异，以此提高位于同一层的所述待镀膜产品的膜厚均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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