[实用新型]一种半导体检测用定位精度高的相干探测显微镜

摘要

本实用新型公开了一种半导体检测用定位精度高的相干探测显微镜，包括底板，所述底板顶部的四周均安装有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的顶部固定连接有连接板，所述连接板的顶部开设有凹槽，所述凹槽的内腔通过轴承转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆外表面的左右两端均螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套的顶部通过支架固定连接有放置板，所述连接板的左侧固定安装有电机，所述电机的输出轴与螺纹杆固定连接。本实用新型通过电机、第二电动伸缩杆、镜头、凹槽、螺纹杆、螺纹套、滑槽、滑块、放置板、挡板和距离感应器相互配合，解决了现在的相干探测显微镜不能精确的对半导体进行定位，从而影响检测的准确性的问题。