[实用新型]一种石英舟有效
| 申请号： | 202022532696.6 | 申请日： | 2020-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN213401123U | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 周华军;费正洪;孙贤 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，具体公开了一种石英舟，该石英舟包括两个平行设置的侧板，两个侧板之间连接有至少三根平行设置的横杆，其中，至少一根横杆位于其余横杆的下方，各横杆构成硅片的承载框，至少两根位于上方的横杆设有若干个开口相对的卡槽，卡槽的侧壁为竖直面且与横杆的轴向的夹角为锐角。卡槽的设置使得放置于石英舟的卡槽中的硅片与横杆的轴向的夹角为锐角，减小了硅片在扩散管内的横向尺寸，使得同一内径的扩散管能够制备的硅片的尺寸范围增加。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
