[实用新型]一种炉管及LPCVD设备

摘要

本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域，公开一种炉管及LPCVD设备。该炉管包括炉管本体和进气组件，炉管本体内承载有待沉积的硅片，炉管本体上设置有主进气口和主抽气口，进气组件设置于炉管本体的内部，进气组件包括能环设于硅片周围的进气管，进气管与主进气口相连通，在进气管上设置有多个分进气口，多个分进气口沿进气管的周向均匀且间隔设置。进气管上设置的多个均布的分进气口，能够将从主进气口进入的混合气体均匀化，使混合气体能够均匀的流到待沉积的硅片的表面，提高硅片表面的多晶硅薄膜的均匀性，减少硅片表面的色差，保证硅片的使用性能，提高电池效率。