[实用新型]一种真空镀膜装置有效
| 申请号： | 202022553967.6 | 申请日： | 2020-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN213507180U | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 李健;孙宏宇;邓天容 | 申请（专利权）人： | 江西华派光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 341800 *** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，公开了一种真空镀膜装置，包括真空镀膜腔和镀膜腔盖，真空镀膜腔底部设有蒸发源，所述镀膜腔盖位于真空镀膜腔上方，镀膜腔盖底部安装有基片载架夹持装置，镀膜腔盖的左侧固定在支撑板上，支撑板的下方连接着第一升降机构，支撑板的上方设有电机支架，电机支架上安装着转动电机，转动电机输出轴连接到镀膜腔盖。本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜装置，用于提高真空镀膜效率，节约人力成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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