[实用新型]一种用于碳化硅长晶热场的气流过滤组件

摘要

本实用新型公开了一种用于碳化硅长晶热场的气流过滤组件，包括坩埚、多孔石墨板、多孔石墨颗粒和底部石墨孔板，所述坩埚的内壁上设有环状的凸台，所述底部石墨孔板位于凸台的上端，所述底部石墨孔板上均匀设有导流孔，所述底部石墨孔板的上端铺有多孔石墨颗粒，所述多孔石墨颗粒的上端盖有多孔石墨板。通过底部石墨孔板先将气氛均匀化，气流通过中间层的多孔石墨颗粒时，气氛再次被均匀化，最后到达多孔石墨板时，进一步均化透过多孔石墨板的气流，通过3次气氛的均匀化处理，在提升过滤效果的同时，极大的避免了气氛不均匀造成的过滤差异等问题，更有助于降低晶体中的包裹物。