[实用新型]一种流量可准确控制的氮化炉有效
| 申请号： | 202022557153.X | 申请日： | 2020-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN213951325U | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 李庆中 | 申请（专利权）人： | 高邑县富当特种耐火材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C8/24 | 分类号： | C23C8/24;G05B11/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 051330*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种流量可准确控制的氮化炉，其中包括手动切断阀、设置在整个氮气路径的进口处、气动调节阀、设置在手动切断阀之后、远传式氮气流量计设置在气动调节阀之后、PID调节系统、将气动调节阀和远传流量计连接起来、三通管件、设置在远传流量计之后、最后与氮化炉相连、所有的手动切断阀、气动调节阀、远传流量计、三通管件、炉体通过塑料软管相连接。本实用新型结构简单、流量精度高、保证了氮化硅的氮气通入量始终处于设定值内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 流量 准确 控制 氮化 | ||
【主权项】：
暂无信息
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