[实用新型]一种连续可调渐变色真空电子枪镀膜装置有效
申请号: | 202022559120.9 | 申请日: | 2020-11-08 |
公开(公告)号: | CN213507166U | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 李健;孙宏宇;邓天容 | 申请(专利权)人: | 江西华派光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30;C23C14/54 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 341800 *** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域,公开了一种连续可调渐变色真空电子枪镀膜装置,包括镀膜机腔体,镀膜机腔体上方设有镀膜伞具,镀膜机腔体下方设有蒸发源,所述伞具上安装有倾斜治具,所述倾斜治具包括固定在镀膜伞具上的固定块,固定块下方安装着基片载板,基片载板具有绕固定块转动的自由度,基片载板的另一端设有连接块,连接块上连接着角度调节杆,角度调节杆具有绕连接块转动的自由度,镀膜伞具上开设有通孔,角度调节杆的另一端穿过通孔伸出到镀膜伞具的背面,角度调节杆的伸出端安装有限位螺母。本实用新型的目的在于提供一种可以灵活调节渐变色范围的真空电子枪镀膜装置,其结构简单、易操作。 | ||
搜索关键词: | 一种 连续 可调 渐变 真空 电子枪 镀膜 装置 | ||
【主权项】:
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