[实用新型]一种离子注入机用摆动装置有效
申请号: | 202022582271.6 | 申请日: | 2020-11-10 |
公开(公告)号: | CN213601837U | 公开(公告)日: | 2021-07-02 |
发明(设计)人: | 陈维 | 申请(专利权)人: | 无锡凯世通科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/317 | 分类号: | H01J37/317;H01J37/02 |
代理公司: | 江苏弘扬知识产权代理有限公司 32495 | 代理人: | 刘锦霞 |
地址: | 214000 江苏省无锡市新区硕放新3*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及离子注入机摆动的技术领域,且公开了一种离子注入机用摆动装置,包括离子注入机外防护筒外壁两侧的两端均转动设有转动轴,四个转动轴的一端均固定设有支撑板,四个支撑板一端的一侧均固定设有固定轴,四个固定轴一端的外壁均套设有固定环,其中两个固定轴的外壁均传动设有缓冲杆,两个缓冲杆内壁的一端分别与另外两个固定轴的外壁传动连接,本实用新型一种离子注入机用摆动装置,通过在装置上设置有支撑摆动装置,在两侧的连接杆以及支撑柱组成的支撑装置的配合下,可保证离子注入机在其中间可以稳定摆动,且得到一定的缓冲效果,避免装置摆动过度而导致损坏,从而提高装置的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 离子 注入 摆动 装置 | ||
【主权项】:
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