[实用新型]一种用于在大长径比金属管内沉积硬质涂层的装置

摘要

本实用新型公开了一种用于在大长径比金属管内沉积硬质涂层的装置，包括真空腔体、供气系统、离子发生装置、支撑架、电源、磁场发生装置、真空泵、偏压电源和加热装置。其中，真空腔体为封闭腔体；供气系统用于向真空腔体提供工作气体和工艺气体，工作气体为惰性气体；离子发生装置包括空心阴极电子枪和辅助阳极；支撑架固定于真空腔体内；空心阴极电子枪与电源的负极电连接，辅助阳极与电源的正极电连接；磁场发生装置用于产生沿待涂层金属管轴线方向的磁场；真空泵与真空腔体相连；偏压电源与真空腔体相连；加热装置安装于真空腔体内。相比于现有技术，本实用新型适用范围大、离子沉积速度快，形成的涂层密度高、均匀性好。