[实用新型]自动放片机有效
| 申请号： | 202022594475.1 | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN213150806U | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 戴言培 | 申请（专利权）人： | 麒安科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/48 | 分类号： | H01L33/48;H01L33/64 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;曹娜 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种自动放片机，包括晶圆平边对位单元、第一晶圆移动模块、第二晶圆移动模块、模具平边对位单元及移载机构，晶圆平边对位单元包括可转动的晶圆承载座及第一摄影模块，第一晶圆移动模块包括第一放置区及平移机构，第一放置区供第一晶圆片放置，平移机构将第一晶圆片由第一放置区移载至晶圆承载座上；第二晶圆移动模块包括第二放置区及翻面机构，第二放置区供第二晶圆片放置，翻面机构自第二放置区吸取第二晶圆片且翻转后放置于晶圆承载座上；模具平边对位单元包括可转动的模具承载座及第二摄影模块；移载机构依序将放置晶圆承载座的第一晶圆片、第二晶圆片移载至模具承载座上的模具上，以此将第一晶圆片及第二晶圆片特定表面对合且堆栈于模具上。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 放片机 | ||
【主权项】：
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