[实用新型]一种基于硫酸与双氧水混合去除光阻胶的装置

摘要

本实用新型涉及一种基于硫酸与双氧水混合去除光阻胶的装置，包括一混合组件，所述混合组件包括一混料桶，在混料桶的顶端分别具有一硫酸加料口、一双氧水加料口，其中，硫酸加料口通过硫酸输送管道接入硫酸供料箱，双氧水加料口通过双氧水输送管道接入双氧水供料箱；一测压组件，所述测压组件包括一安装在混料桶旁侧的测压箱，在测压箱上安装有一对测压气管，分别为第一测压气管、第二测压气管。本实用新型的优点在于：采用硫酸与双氧水的混合来共同进行光阻剥离，有效的避免了因有机物剥离而带来的金属掏空现象；而测压组件的设计，采用测压箱与测压气管的配合来对混料桶内的溶液的液位进行测量，测量更加的精准。