[实用新型]一种晶体生长炉供气系统有效
| 申请号： | 202022597753.9 | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN213624479U | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 夏钰坤;夏宗仁;曹义育;曹远虎;程红鹏;张婷;夏文英 | 申请（专利权）人： | 江西匀晶光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 332000 江西省九*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶体生长炉供气系统，包括箱体，所述箱体内设置有坩埚，所述坩埚的外壁上设置有若干个温度传感器，所述坩埚的底部设置有若干个火嘴，若干个所述火嘴呈圆形分布，若干个所述火嘴的圆截面大于所述坩埚的圆截面。本实用新型的供气系统包括若干个火嘴，每个火嘴都可以单独的调节火力大小，从而根据坩埚外壁上的的温度传感器单独调整每个火嘴的火力，使坩埚受力均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体生长 供气 系统 | ||
【主权项】：
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