[实用新型]一种单晶炉直拉对中校准系统有效
申请号: | 202022603711.1 | 申请日: | 2020-11-12 |
公开(公告)号: | CN214271107U | 公开(公告)日: | 2021-09-24 |
发明(设计)人: | 吴树飞;郝瑞军;赵国伟;周泽;刘振宇;杨瑞峰;刘学;王建宇 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20;C30B29/06 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型一种单晶炉直拉对中校准系统,用于提拉钢线与石英坩埚同轴线校准,包括:置于单晶炉主室内侧并被悬空设置的校准部;监测部;以及用于与监测部连接的处理器;其中,提拉钢线绷直设置;校准部与提拉钢线下端的重锤连接,且校准部下端面距离石英坩埚上端面有一定距离。本实用新型可快速精准地多次重复对中校准,结果稳定且一致性好,为后续晶体生长时确保晶体棒和石英坩埚的旋转中心重合奠定基础,降低了由于熔硅液面抖动造成的固液界面异常,最大限度地保证晶体正常生长,整体误差率由现有的10%降低至5%,检测效率提高了5%左右,再现一致性好,提高晶体生长合格率。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉直拉 校准 系统 | ||
【主权项】:
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