[实用新型]一种用于微型悬空光波导芯片的研磨夹具有效
| 申请号： | 202022605869.2 | 申请日： | 2020-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN213532157U | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 郜飞飞;尹小杰;孙静雯;常夏森 | 申请（专利权）人： | 河南仕佳光子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27;B24B37/34;B24B47/22 |
| 代理公司： | 郑州优盾知识产权代理有限公司 41125 | 代理人： | 张真真 |
| 地址： | 458030 河南省鹤壁市*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种用于微型悬空光波导芯片的研磨夹具，包括下板和盖板，下板上设有单边带倒角的凹槽，盖板上设有V型槽，凹槽与V型槽配合形成与光波导芯片相匹配的夹持腔，凹槽与盖板配合固定光波导芯片。本实用新型产生的有益效果是：基板、夹板、倒角夹板和盖板分别贴紧光波导芯片，有效固定光波导芯片方便光波导芯片的端面研磨；利用V形槽和倒角结构与光波导芯片的悬空结构相对应，避免破坏光波导芯片上的悬空结构；利用热熔胶固定夹具保证结构稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 微型 悬空 波导 芯片 研磨 夹具 | ||
【主权项】：
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