[实用新型]一种电镜输入气路智能控制系统有效

专利信息
申请号: 202022607624.3 申请日: 2020-11-12
公开(公告)号: CN213749676U 公开(公告)日: 2021-07-20
发明(设计)人: 任宪平;刘伟;刘岳峰;蒋倩;徐尚君;苗澍;黄兴;杨冰;吴卓克;杜霞茹 申请(专利权)人: 中国科学院大连化学物理研究所;大连凯特利催化工程技术有限公司;大连圣迈化学有限公司
主分类号: G01N23/2206 分类号: G01N23/2206;G01N30/02;G05B19/05
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 汪海
地址: 116023 辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 实用新型涉及电镜辅助系统领域,具体地说是一种电镜输入气路智能控制系统,包括增湿罐、静态混合器、输出气路和多个输入气路,输入气路上设有管道隔膜阀、纯化柱、过滤器、入口压力表、减压器、出口压力表、第一质量流量计、流量计出口逆止阀和气路控制阀,各个输入气路的输出端均与一个中间管路相连,所述中间管路的输出端与静态混合器一侧相连,静态混合器另一侧与输出气路相连,且所述输出气路上设有电磁开关阀、电动调节阀和真空硅,静态混合器下端与排出气路相连,增湿罐设于任一输入气路与静态混合器之间。本实用新型减少占地空间,减小误差,减少调节步骤,节约调节时间,减少成本,可以按预定方案进行通气、冲洗、配比。
搜索关键词: 一种 输入 智能 控制系统
【主权项】:
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