[实用新型]用于石英坩埚酸洗的评价设备有效
| 申请号： | 202022616131.6 | 申请日： | 2020-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN213600530U | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 王建军;李卫;李常国;何玉鹏;邓红 | 申请（专利权）人： | 宁夏富乐德石英材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N5/00 | 分类号： | G01N5/00;G01N33/38 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人： | 曹广涛 |
| 地址： | 750021 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种用于石英坩埚酸洗的评价装置，其包括石英坩埚和评价装置，石英坩埚设有多个开孔，评价装置的数量和开孔的数量相对应，评价装置包括耐酸腐蚀的可拆卸紧固件和中心开孔的石英玻璃片，每个石英坩埚的开孔两端各放置一个具有中心开孔的石英玻璃片，每一个紧固件将石英坩埚的开孔两端的石英玻璃片固定，石英坩埚和石英玻璃片的材质相同，中心开孔的石英玻璃片为几何形状规则且表面积容易计算的几何形体，通过测量计算安装在石英坩埚同一位置处的石英玻璃片在酸洗前后的的质量差和表面积差，用质量差除以表面积差再除以石英玻璃片的密度计算获得蚀刻深度，用蚀刻深度评价石英坩埚在酸洗后石英坩埚的杂质是否去除干净。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 石英 坩埚 酸洗 评价 设备 | ||
【主权项】：
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