[实用新型]一种防护性能好的半导体生产加工用液态气储罐有效
| 申请号： | 202022630025.3 | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN213840465U | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 王敏;吴汉涛;孙珏 | 申请（专利权）人： | 无锡恒大电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F17C3/00 | 分类号： | F17C3/00;F17C13/02;F17C13/04;F17C13/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市建*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了液态气储罐技术领域的一种防护性能好的半导体生产加工用液态气储罐，包括支撑机构、外壳、罐体、防护机构、输送机构、监测机构和控制装置，所述外壳通过螺栓固定连接在所述支撑机构的顶部，所述罐体内嵌在所述外壳的内腔，所述防护机构焊接在所述罐体的内腔壁左右两侧，所述输送机构通过螺栓固定连接在所述罐体的内腔底部右侧，所述监测机构固定连接在所述罐体的前侧壁上侧中间处，该防护性能好的半导体生产加工用液态气储罐，不会使罐体内的液态气流失完，在对罐体进行修补后，半导体的加工还能够继续进行，不会影响半导体的加工效率，能够防止罐体的压力过高而造成罐体的爆炸，避免财产损失和人员伤亡。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防护 性能 半导体 生产 工用 液态 气储罐 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡恒大电子科技有限公司，未经无锡恒大电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022630025.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高效清洁的拖把
- 下一篇：一种教育管理用资料统计装置
