[实用新型]高对比度光栅垂直腔面发射激光器

摘要

本申请公开了一种高对比度光栅垂直腔面发射激光器，包括层叠设置的第一反射器层、有源层、第二反射器层和光栅层；所述光栅层具有光栅槽，所述光栅槽自所述光栅层背离所述有源层一侧，至少延伸至所述光栅层的内部。光栅槽至少延伸至光栅层的内部，也即光栅槽的深度可以在光栅层至第二反射器层内部之间均可，因此提高了制作的容忍度。在光栅槽刻蚀深度较浅时，其所用的刻蚀时间较短，可以提高生产效率，不同深度光栅槽对应的VCSEL参数不同，由于光栅槽刻蚀深度的多样性，相应地扩大了光栅以及VCSEL设计参数的调节范围，也提高制作的容忍度和良率，提供了制成方式的多样性。