[实用新型]一种晶圆生产加工专用组装的固定装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆生产加工专用组装的固定装置，包括底座，所述底座的表面设有第一螺杆、固定板，所述固定板靠近底座表面的中间位置，所述第一螺杆的外侧套设有滑块，所述固定板上设有旋杆，所述旋杆的外侧设有转动环，所述旋杆的顶端设有固定块，所述固定块的顶部表面设有圆筒，所述圆筒的内部设有活塞，所述圆筒的顶部设有移动杆，所述移动杆的顶部侧面设有第二螺杆，所述固定块的侧面设有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的另一端设有圆盘，所述圆盘的顶部表面设有筒柱；第一螺杆旋转适宜角度及滑块带动移动杆竖直移动，移动杆带动活塞移动及圆筒内部吸气，在压强作用下，晶圆稳定的吸附贴合在吸盘表面，便于固定晶圆。